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中国科学院上海光学精密机械研究所 薄膜光学实验室

上海大恒光学精密机械有限公司 光学薄膜事业部

简介


中国科学院上海光学精密机械研究所 薄膜光学实验室(以下简称实验室)是光学薄膜及其技术的专门研发机构,并以追求高光学性能、高激光损伤阈值的强光薄膜为主要探索方向。实验室提出并逐步完善了激光薄膜研制全流程控制的系统工程解决方案,攻克了包括激光缺陷探测技术、基板缺陷缝合技术等系列关键技术难题,成功建立了应用基础研究、关键技术攻关与工程应用的自主创新生态链,取得了具有自主知识产权的重大创新成果,为我国神光系列高功率激光装置、超强超短激光装置和航天工程等系统提供了大量高性能核心激光薄膜元件。

实验室成立于1964 年,经过 50 多年的发展在光学薄膜方面具有雄厚的研究基础,拥有高性能的薄膜沉积设备(电子束蒸发、磁控溅射、离子束溅射、原子层沉积等薄膜沉积设备)和完善的测试平台(薄膜材料、薄膜表面、薄膜结构、激光损伤和元件面形等测试设备);特别是高性能、高损伤阈值激光薄膜的研究处于国内领先、国际先进水平。在稳抓基础研究、完善镀膜工艺的同时,实验室积极转化研究成果,推进薄膜产业化,在 1999 年成立了上海大恒光学精密机械有限公司光学薄膜事业部(以下简称事业部)。

实验室和事业部拥有一支强大的研发队伍,现有人员规模为80人,有6名研究员(正高级工程师)、3名客座研究员、12名副研究员(高级工程师)。多个项目获得上海市和军队科技进步奖二等奖;2017年,“米级、高消光比、高损伤阈值偏振薄膜元件成套制备工艺技术与应用开发”荣获上海市技术发明一等奖。实验室研制的激光反射薄膜元件在2018年基频激光反射薄膜元件激光损伤阈值国际竞赛中以比第二名高出20%的绝对优势摘得桂冠。

实验室和事业部在光学薄膜的应用波长上,跨越了从软X射线到红外波段。除了一直从事研制神光系列激光装置薄膜、软X射线及紫外薄膜、滤光片、色片、红外薄膜、低损耗薄膜、色散补偿膜、高色散镜、低色散镜、激光加工和激光医疗用薄膜外,同时也积极拓展其研究领域,如高斯镜、雕塑薄膜、透明导电薄膜等。产品质量满足美国标Z87.1-2003的要求;用户遍及国内、欧美、澳大利亚、日本等。

实验室和事业部坚持质量第一、信誉第一,并以满足客户需求、持续改进和创新为宗旨。